아폴로테크

ESC CONTROLLER (SPR 2.5K)

ESC (Electro-Static Chuck) Controller는 High Voltage / Low Current의 DC Power Supply로 ESC Kit에 DC전원 인가 및 정전기를 유도하여 Wafer 및 Glass를 ESC에 부착시키는 장치입니다.

주요특징으로는 다음과 같습니다.

•안정적인 High Voltage output 전원 공급

•LCD Monitor Module 내장

•Current Monitoring 회로 내장(ESC 교체주기 파악)

•Shock Protection(Leakage Current) 안전 회로 구현(외부 충격으로부터 보호)

•Reverse 회로(+/- Toggling) 기능으로 잔류 전하 제거효과

•Noise 및 간섭 현상 제어

•다양한 EOS 제어 Parameter (SP Alarm, OCP, Arc Alarm)

•다양한 제어 인터페이스 가능 (I/O Analog, Local, RS-232C 통신)

•Test Program(Free ware) 사용가능

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