Polyimide 静电盘(E.S.C)
▣ 정전척(ElectroStatic Chuck) 이란?
반도체 및 LCD/OLED용 주요장비에 들어가는 핵심 부품으로써, DC전원을 인가시키면 정전기(Electrostatic)력으로 반도체의 Wafer, LCD의 유리기판 등 대상물을 수평으로 흡착, 고정시키는 역할을 하는 장치이며, 일반적으로 전극의 개수에 따라 Monopolar(Unipolar)와 Bipolar 타입으로 구분되고, 또한 유전층 저항률의 크기에 따라 columb과 Jonsen-Rahb 타입으로 나뉜다
▣ POLYIMIDE제 ESC 특징
1)전극 등의 노출부가 없기 때문에 PLASMA방전이 발생하기 어렵다
(노출부가 있다면 저진공 부에서 방전(Arcing)이 일어남, 일명 Short(쇼트)
(노출부가 있다면 저진공 부에서 방전(Arcing)이 일어남, 일명 Short(쇼트)
2)CHIPPING에 의한 파손 발생이 어렵다
(CERAMIC의 경우 CHIPPING 파편 자체가 제품을 파손할 가능성이 있음)
(CERAMIC의 경우 CHIPPING 파편 자체가 제품을 파손할 가능성이 있음)
3)내전압이 높다(GROUND間 및 전극間에 대하여)
4)회로상의 전류 값이 상당히 적다 Þ 저저항 Al2O3의 경우 10^9~10^12[Ωcm]인 것에 비교하여 POLYIMIDE는 10^16[Ωcm]이상이고 회로내의 전류는 거의 0에 가까움
5)ESC Repair(or Recycle) 용이 : 손상된 필름부 교체만으로 손쉽게 재새가능(ESC의 TOTAL두께를 안정화할 수 있음)
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