Ceramic Electrostatic Chuck
▣ 정전척(ElectroStatic Chuck) 이란?
반도체 및 LCD/OLED용 주요장비에 들어가는 핵심 부품으로써, DC전원을 인가시키면 정전기(Electrostatic)력으로 반도체의 Wafer, LCD의 유리기판 등 대상물을 수평으로 흡착, 고정시키는 역할을 하는 장치이며, 일반적으로 전극의 개수에 따라 Monopolar(Unipolar)와 Bipolar 타입으로 구분되고, 또한 유전층 저항률의 크기에 따라 columb과 Jonsen-Rahb 타입으로 나뉜다.
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