ESC Controller(SPR 2.5K)
ESC (Electro-Static Chuck) Controller는 High Voltage / Low Current의 DC Power Supply로 ESC Kit에 DC전원 인가 및 정전기를 유도하여 Wafer 및 Glass를 ESC에 부착시키는 장치입니다.
※ 如需更多规格，请联系这里。(Tel. +82-31-778-6336, E-mail: sales@apollotech.co.kr)
ESC (Electro-Static Chuck) Controller는 High Voltage / Low Current의 DC Power Supply로 ESC Kit에 DC전원 인가 및 정전기를 유도하여 Wafer 및 Glass를 ESC에 부착시키는 장치입니다.
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